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A.让我来告诉你SEM的特点

让我来告诉你SEM的特点

作者:yj1281 日期:2012-6-16 18:32:06 关注值:
 和光学显微镜及透射电镜相比,扫描电镜SEM(Scanning Electron Microscope)具有以下特点:   (一) 能够直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。   (二) 样品制备过程简单,不用切成薄片。   (三) 样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转,因此,可以从各种角度对样品进行观察。   (四) 景深大,图象富有立体感。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍,比透射电镜大几十倍。   (五) 图象的放大范围广,分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍,它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间,可达3nm。   (六) 电子束对样品的损伤与污染程度较小。   (七) 在观察形貌的同时,还可利用从样品发出的其他信号作微区成分分析。
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